VTT on kehittänyt ensimmäisenä maailmassa aivan uuden tavan valmistaa sähköisiä tarkkuusantureita. VTT:n menetelmällä syntyneet uudet anturit mahdollistavat MEMS (Micro Electro Mechnical Systems) -antureiden soveltamisen tarkoissa mittauksissa.
Parantuneen tarkkuuden ansiosta MEMS-teknologiaa voidaan nyt soveltaa kokonaan uusiin kohteisiin sekä laajentaa olemassa olevien antureiden sovellutusalueita. Esimerkiksi MEMS-pohjaisia kiihtyvyys sekä kulmanopeusantureita voidaan soveltaa nykyistä paremmin inertiapaikannuksessa.
Muutaman millimetrin kokoisia antureita voidaan käyttää mitä erilaisimmissa mittausalan sovelluksissa. Tämä on synnyttänyt uuden tutkimusalueen metrologiaan eli mittaustekniikkaan.
Menetelmällä saatiin esimerkiksi VTI Technologyn kiihtyvyysanturista entistä pienempi, tarkempi ja edullisempi. Massatuotannon ansiosta yhden MEMS-komponentin hinta voi laskea jopa alle euron. Uusi kiihtyvyysanturisukupolvi on siirtymässä tuotantoon 2006.