VTT ja ranskalainen SUSS MicroTec ovat kehittäneet uuden kaupallisen nanokuviointilaitteen.
Laite ja uudet menetelmät mahdollistavat esimerkiksi taipuisien aurinkokennojen ja erittäin pienikokoisten bioanalyysaattoreiden edullisen ja nopean valmistamisen.
Kehitystyö tehtiin osana Emerging Nanopatterning Methods -hanketta. NPS300-laitteen prototyyppi on jo VTT:n käytössä Espoon Micronovassa.
Step and Stamp Imprint-litografiaan (SSIL) perustuvassa laitteessa käytetään kuvioitua piisirua leimasimena, jonka kuviot siirretään polyymeerikerrokseen painamalla. Laajalle alueelle kuviot saadaan kopioitua askeltamalla ja toistamalla painamista.
Menetelmällä voidaan monistaa nopeasti ja edullisesti pieniä, alle sadan nanometrin kuvioita laajalle alueelle.
Perinteisesti nanomittakaavan kuvioita on tehty elektronisuihkulitografialla. Menetelmän heikkoutena on sen hitaus. Muilla mikroelektroniikassa käytettävillä laitteistoilla ja menetelmillä voidaan tuottaa alle sadan nanometrin viivanleveyksiä, mutta laitteet ovat erittäin kalliita.
Perinteiset menetelmät eivät myöskään helposti sovellu uusien funktionaalisten materiaalien tai kolmiulotteisten rakenteiden kuvioimiseen.
Leimasinten eli stamppien pienimmät rakenteet kuvioidaan jatkossakin elektronisuihkulitografialla. Sen sijaan suuriin pinta-aloihin voidaan käyttää Step and Stamp-kuviointia. Näin voidaan valmistaa leimasimet myös rullalta rullalle -nanokuviointiin.
Uusi laite soveltuu optisten ja sähköisten sekä biomateriaalien nanokuviointiin. Lisäksi sillä voidaan kuvioida suoraan kolmiulotteisia rakenteita. VTT:llä on kyetty tuottamaan parhaimmillaan alle kymmenen nanometrin kokoisia kuvioita.
Nanokuviointi on mahdollistava teknologia, jonka sovellutusalueita ovat esimerkiksi biotekniikka, fotoniikka, nano- ja polymeerielektroniikka, kovalevyt ja sensorit.